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射頻電源(RFgenerator)是用來產生射頻電功率的電源。它的輸出一般是正弦波或脈沖,頻率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等規格,輸出功率從幾十瓦到幾十千瓦,輸出阻抗一般是50歐。它可以用于等離子體發生、感應加熱、醫療等多種領域。為幫助大家深入了解,本文將對射頻電源的相關知識予以匯總。
射頻電源構成部件
主要由5部分組成:直流供電電源模塊,震蕩電路模塊,功率放大模塊,射頻功率檢測模塊,射頻互鎖控制模塊。
(1)直流電源模塊是為電源內部控制線路板供電,包括 24V、15V等電壓;
(2)震蕩電路模塊為晶體震蕩部分,產生 13.56MHZ的正弦波信號;
(3)功率放大模塊是幾個固態晶體管組成,主要目的是把高頻信號,進行功率放大,使得輸出功率達到輸出要求;
(4)射頻功率檢測模塊:主要為檢測控制電路,通過高頻測量電感檢測入射功率,反射功率,把該信號提供給主控制板, 實現自動PID控制;
(5)射頻互鎖控制模塊:主要為開關信號模式,可提供安全互鎖功能,比如射頻輸出線互鎖,高壓互鎖,射頻輸出互鎖,過溫互鎖等控制功能。
其中,固態功率放大器簡單點說就是把具有放大作用的電路,集成封裝在一起,起到放大信號作用的模塊。
射頻電源工作原理
射頻收發核心電路射頻即Radio Frequency,通常縮寫為RF。表示可以輻射到空間的電磁頻率,頻率范圍從300KHz~30GHz之間。射頻簡稱RF射頻就是射頻電流,它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流,大于10000次的稱為高頻電流,而射頻就是這樣一種高頻電流。有線電視系統就是采用射頻傳輸方式。
在電子學理論中,電流流過導體,導體周圍會形成磁場;交變電流通過導體,導體周圍會形成交變的電磁場,稱為電磁波。在電磁波頻率低于100khz時,電磁波會被地表吸收,不能形成有效的傳輸,但電磁波頻率高于100khz時,電磁波可以在空氣中傳播,并經大氣層外緣的電離層反射,形成遠距離傳輸能力,我們把具有遠距離傳輸能力的高頻電磁波稱為射頻,射頻技術在無線通信領域中被廣泛使用。
射頻芯片指的就是將無線電信號通信轉換成一定的無線電信號波形,并通過天線諧振發送出去的一個電子元器件,它包括功率放大器、低噪聲放大器和天線開關。射頻芯片架構包括接收通道和發射通道兩大部分。
射頻電源的應用
射頻電源目前主要被用來在低壓或常壓下產生等離子體。由于不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果,如半導體設備中的去膠機;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要,如半導體設備中的刻蝕機。射頻電源已廣泛應用于半導體工藝設備;LED與太陽能光伏產業;科學實驗中的等離子體發生;射頻感應加熱;醫療美容;常壓等離子體消毒清洗等。